Mechanical Reconstruction of an Industrial 915MHz Microwave Cavity Plasma Reactor System for Chemical Vapor Deposition Diamond Processes (Paperback) (ISBN-13: 9783838675886)

Inhaltsangabe: Zusammenfassung: Synthetische Diamanten sind in Industrie und Wissenschaft sehr attraktiv, schaffen sie doch den Kompromiss zwischen einzigartigen Materialeigenschaften und geringen Anschaffungskosten. Mit der Verfeinerung von geeigneten CVD-Methoden und der intensiven Entwicklung von Reaktoren und Anlagen konnten die Herstellungskosten weiter gesenkt und vor allem enorme Fortschritte bei den m glichen Anwendungen und Abmessungen erzielt werden. Diese Diplomarbeit besch ftigt sich mit dem Wiederaufbau und der Integration einer unbekannten industriellen 915MHz MCPR-Anlage (microwave cavity plasma reactor), f r die Herstellung von CVD-Diamanten. Dabei wird umfangreich ber den Stand der Technik bei relevanten CVD-Reaktoren, Anwendungsm glichkeiten, Synthese und Materialeigenschaften von synthetischen Diamanten eingegangen. Weiterhin wird der Aufbau und die Wirkungsweise der MCPR-Reaktoranlage beschrieben. Neben der Analyse der Ausgangsbedingungen wird auf die Umsetzung der Teilprobleme wie den Wiederaufbau des Mikrowellensystems, Vakuumanlage, Prozessgassystem und das Wasserk hlsystem eingegangen, wobei spezifische Probleme (Design, Funktion, Fehler, notwendige nderungen) analysiert und L sungen besprochen werden. Dabei werden Dimensionierungen von K hlleistungen, Gasbedarfe (Prozessgase) und Einstellungen bei unbekannten Systemeigenschaften beschrieben. Weiterhin werden Dimensionierung und Auswahl von einem K hlaggregat und Gask hlstr men, die Konstruktion und Dimensionierung einer Hebevorrichtung und Kammergr enskala und ad quate Systemparameterwahl erl utert, wobei auf jeweilige (un-) bekannte Randbedingungen eingegangen werden. Mit der Entscheidung von geeigneten Methoden (Helium-Leck-Test, Mikrowellenstrahlung u.a.) wurden die Teilsysteme auf Funktion und Sicherheit berpr ft. Mit geeigneten Berechnungen konnten notwendige Reinheiten im Vakuumbereich (Leckratenbeurteilung, Prozessgaswechsel) erwiesen werden. Abschlie end werden Funktionstests

Author: Jörg Fricke
ISBN-10: 3838675886
ISBN-13: 9783838675886
Publisher: Diplom.de
Language: English
Published: 01/07/2004
Pages: 118
Format: Paperback
Weight: 0.36lbs
Size: 8.27h x 5.83w x 0.28d